碳化硅籽晶和碳化硅籽晶组件.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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碳化硅籽晶和碳化硅籽晶组件.pdf

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本发明提供了碳化硅籽晶和碳化硅籽晶组件，该碳化硅籽晶包括：碳化硅籽晶本体；碳化硅过渡层，所述碳化硅过渡层覆盖在所述碳化硅籽晶本体的背面上；碳层，所述碳层覆盖在所述碳化硅过渡层远离所述碳化硅籽晶本体的表面上。该碳化硅籽晶可以有效避免背面蒸发问题，提高生长晶体的质量的同时，相邻两层之间的结合力强，脱落风险显著降低。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113897685 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 20201