遮蔽装置和半导体工艺设备.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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遮蔽装置和半导体工艺设备.pdf

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本发明提供了一种半导体工艺设备中的遮蔽装置，用于遮蔽所述半导体工艺设备工艺腔室中用于承载晶圆的基座，包括：遮蔽盘和用于承载所述遮蔽盘的托盘，其中，所述遮蔽盘包括：遮蔽盘本体和设置在所述遮蔽盘本体上的突出部，所述突出部位于所述遮蔽盘本体朝向所述托盘的一侧，所述托盘上设置有多个校正机构，多个所述校正机构沿所述突出部的周向分布，多个所述校正机构的用于在所述遮蔽盘落至所述托盘的过程中，在所述遮蔽盘重力的作用下夹持所述突出部，并推动所述突出部沿所述托盘的表面移动至目标位置。本发明实施例还提供了一种半导体工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113897588 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202111123228.6 (22)申请日 2021.09.24 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司