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本公开涉及一种陶瓷结构、静电吸盘以及基板固定装置,该陶瓷结构包括基体以及具有与基体直接接触的部分的热电装置。基体是由氧化铝构成的陶瓷。热电装置包括导体部,该导体部是以钨铼合金作为主要成分并且包括氧化镍、氧化铝和二氧化硅的烧结体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113903698 A
(43)申请公布日 2022.01.07
(21)申请号 202110766189.5
(22)申请日 2021.07.07
(30)优先权数据
2020-1173
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