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一种用于训练图案化过程模型的方法，所述图案化过程模型被配置成预测将形成在图案化过程上的图案。所述方法涉及：获得与期望的图案相关联的图像数据，衬底的测量图案，包括第一参数集合的第一模型，和包括第二参数集合的机器学习模型；和迭代地确定所述第一参数集合和所述第二参数集合的值以训练图案化过程模型。迭代涉及：使用所述图像数据来执行所述第一模型和所述机器学习模型以协作地预测所述衬底的印制图案；和修改所述第一参数集合和所述第二参数集合的值以使得所述测量图案与所述图案化过程模型的预测图案之间的差减小。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113892059 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202080024772.2 陈怡吟 张辰骥 卢彦文
(22)申请日 202
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