一种钟摆式基板蚀刻装置及蚀刻工艺.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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一种钟摆式基板蚀刻装置及蚀刻工艺.pdf

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本发明公开一种钟摆式基板蚀刻装置，包括蚀刻槽，蚀刻槽外壁上方对称固定安装升降导轨，升降导轨之间固定安装横板，横板两端与升降导轨滑动连接，横板中间固定安装钟摆机构，钟摆机构底部固定安装蚀刻篮，蚀刻篮内壁对称固定安装若干夹板，夹板均匀等距设置，夹板远离蚀刻篮一侧设有V形槽，V形槽的内壁固定安装弹性垫，蚀刻槽底部固定安装气体分布器。本发明通过钟摆机构带动蚀刻篮做钟摆简谐运动，基板在两个夹板存在一定的偏斜角度，使基板摆动时与蚀刻液之间存在一定的应力缓冲，减少了基板破损的风险，同时随着蚀刻槽底部的气体分布

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113896427 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202111159789.1 (22)申请日 2021.09.30 (71)申请人浙江同芯祺科技有限公司