功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备.pdf

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本发明提供一种功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备，其包括：获取到达匹配器前端的预设输入功率值；根据到达匹配器前端的预设输入功率值和预先拟合出的函数关系查找与该预设输入功率值相对应的功率源的输出功率校准值；其中，函数关系为非线性函数，用于表示到达匹配器前端的输入功率与功率源的输出功率的对应关系；将功率源的输出功率调节至功率源的输出功率校准值，以使到达匹配器前端的实际输入功率值与前述预设输入功率值相对应。本发明提供的功率源输出功率的控制方法、控制装置及半导体加工设备，能够降低馈入至工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113903642 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202111121238.6 (22)申请日 2021.09.24 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司