- 1、本文档共10页,其中可免费阅读9页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种晶圆对准显微镜,包括光学成像系统和图像传感器,光学成像系统包括沿光束传播方向依次布置的第一镜组、第二镜组、第三镜组,第一镜组将对准标记成像到无穷远,第二镜组将无穷远处的对准标记成像到无穷远,第二镜组把经过光束分裂为第一光束和第二光束,从第二镜组射出的第一光束的x、y、z方向均不改变,从第二镜组射出的第二光束的z方向不变,x和y方向相反;第三镜组分别接收第一、二光束,并将无穷远处的对准标记分别成像到两个图像传感器。采用晶圆对准显微镜可以消除对准系统光轴偏移的问题,从而达到与传统晶圆
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113885300 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202111072897.5
(22)申请日 2021.09.14
(71)申请人 拾斛科技(南京)有限公司
您可能关注的文档
- 一种受限空间下大型穿孔机的安装方法.pdf
- 截屏图片关联方法、装置及电子设备.pdf
- 一种模块模组选型方法及系统.pdf
- 一种节能制冷空调.pdf
- 计算碳排放强度的方法、装置、终端及存储介质.pdf
- 一种新型的高增益双输入DC-DC变换器.pdf
- 基于STATCOM与换相开关相结合的三相不平衡治理方法.pdf
- 电缆辅助固定装置及竖井内电缆施工方法.pdf
- 一种用于水泥生产过程中的液态固硫剂.pdf
- 一种节能环保套管头.pdf
- 四川省德阳市罗江中学2025届高三考前热身化学试卷含解析.doc
- 山东省枣庄现代实验学校2025届高三下学期第五次调研考试化学试题含解析.doc
- 吉林省长春市十一高中等九校教育联盟2025届高三一诊考试生物试卷含解析.doc
- 2025届江苏省盐城市伍佑中学高考仿真模拟化学试卷含解析.doc
- 2025届广西贺州中学高考冲刺押题(最后一卷)生物试卷含解析.doc
- 安徽省池州市贵池区2025届高三第一次模拟考试生物试卷含解析.doc
- 宁夏银川一中2025届高三(最后冲刺)化学试卷含解析.doc
- 广东省广州市增城区四校联考2025届高考压轴卷化学试卷含解析.doc
- 2025届邯郸市第一中学高考生物必刷试卷含解析.doc
- 2025届安徽省安庆市石化第一中学高考仿真卷化学试卷含解析.doc
最近下载
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)