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本发明属于电化学技术领域，具体为一种扫描电化学显微镜探针及其制备方法。本发明制备方法包括：以纳米薄膜的形式制备探针的牺牲层；以纳米薄膜的形式在牺牲层上制备探针的绝缘层，绝缘层厚度控制在5‑50nm；以纳米薄膜的形式在绝缘层上制备金属电极层，金属电极层的厚度控制在5‑50nm；利用有机溶剂去除牺牲层释放绝缘层和金属层双层薄膜；双层薄膜的内应变梯度促使绝缘层和金属电极层卷曲，形成由绝缘层包裹金属电极层的微管结构。该结构可用作扫描电化学显微镜探针；通过材料和结构调节，实现更高的探测性能和显微成像分
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113884708 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202111217665.4
(22)申请日 2021.10.19
(71)申请人 复旦大学
地址 20
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