真空腔体顶部的喷淋板维护设施和维护方法.pdfVIP

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2023-04-21 发布于北京
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真空腔体顶部的喷淋板维护设施和维护方法.pdf

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本发明是关于一种真空腔体顶部的喷淋板维护设施和维护方法，其中，喷淋板维护设施包括：底板的一侧的边缘上设有搭边槽，底板上在搭边槽同侧设有支撑脚，底板上在搭边槽的相对侧设有安装孔，底板通过搭边槽和支撑脚设置在真空腔体组件的上表面上；自动升降托盘，通过安装孔设置在底板上；刻度环，设置于盖板组件的下表面上，刻度环上设有通孔，通孔的位置与喷淋板的安装螺孔的位置对应设置。通过自动升降托盘带动喷淋板的升起和下降，通过刻度环上通孔对准喷淋板的安装螺孔位置，能够降低工作人员的工作强度，缩短安装喷淋板的时间，进而提

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113903677 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202010574164.0 (22)申请日 2020.06.22 (71)申请人拓荆科技股份有限公司