基于学习的数字校正以补偿具有多成像单元的光刻系统的变化.pdfVIP

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2023-04-21 发布于北京
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基于学习的数字校正以补偿具有多成像单元的光刻系统的变化.pdf

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在一个实施方式中，公开了一种用于产生用于多成像单元DLT的预测模型的方法。定位DLT的平台，以使基板上的一组对准记号位于一组DLT的眼下方。针对此组对准记号中的每个对准记号，在第一时间使用耦接至该对准记号上方的眼的照相机获得第一图像，以及从第一图像中在照相机的FOV内获得对准记号的第一位置，以确定第一测量位置。在随后时间获得对准记号的一个或多个额外图像，并确定一个或多个对应的随后测量位置。分别计算测量位置的连续测量位置之间的差异，产生用于校正此组眼的眼中心偏移的预测模型，以及数字地应用校正。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113892062 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202080039945.8 (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理