标签的识别及处理方法以及标签的识别及处理系统.pdfVIP

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2023-04-21 发布于北京
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标签的识别及处理方法以及标签的识别及处理系统.pdf

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本申请属于半导体技术领域，具体涉及一种标签的识别及处理方法以及标签的识别及处理系统，该控制方法包括搜寻晶圆上的标签区域，获取晶圆边缘曝光的第一曝光区域，确定所述标签区域是否在所述第一曝光区域内，如果标签区域不在曝光区域内改变曝光区域的大小，如果标签区域在曝光区域内，对曝光区域进行曝光，曝光完成后，去除标签区域的光刻胶。根据发明实施例的标签的识别及处理方法，在进行加工的过程中，晶圆的表面逐渐形成层叠的不透明膜质，会导致在进行晶圆识别时标签的识别率下降，对曝光区域的大小进行改变，使标签区域在曝光区域

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113903678 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202010576040.6 (22)申请日 2020.06.22 (71)申请人中国科学院微电子研究所