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一种无金欧姆接触电极、半导体器件和射频器件及其制法,属于射频器件领域。该形成于半导体器件的外延结构上的无金欧姆接触电极包括:接触层,堆叠于所述外延结构的顶表面;金属帽层,堆叠于所述接触层之上。其中,接触层包括合金结构、含硅结构或含低功函金属结构。该无金欧姆接触电极具有低的欧姆接触电阻,从而在基于其制作射频器件时,可以降低导通电阻,进而有助于获得输出功率的改善的效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113889534 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202111136252.3 H01L 21/335 (2006.01)
(22)申请日
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