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本发明提供一种绝缘层更难以从靶材剥离的溅射靶。在溅射靶中，氧化物靶材具有作为溅射面的第一主面、与上述第一主面相反的一侧的第二主面以及与上述第一主面和上述第二主面相连设置的侧面。基材设置在上述氧化物靶材的上述第二主面侧。接合构件设置在上述基材与上述氧化物靶材之间，将上述基材和上述氧化物靶材接合。绝缘层设置在从上述氧化物靶材的上述侧面的至少一部分起经过接合构件直到上述基材的表面的至少一部分。对上述氧化物靶材、上述接合构件以及上述基材各自的要与上述绝缘层接触的相接面实施了喷砂处理。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113881923 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202110709756.3 C23C 4/02 (2006.01)
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