半导体器件引线键合强度试验能力的验证方法.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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半导体器件引线键合强度试验能力的验证方法.pdf

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本发明涉及半导体器件引线键合强度试验能力的验证方法，包括以下步骤：引线键合强度标准力值溯源；引线键合强度标准力值传递：建立新的力值标准数据库；检查标准力值校准；检查校准线性度；整体测试系统能力验证。本发明提供了一种准确、可靠和系统的半导体器件引线键合强度试验能力的验证方法。采用本发明，可以对半导体器件生产线和实验室使用的引线键合强度测试系统进行不定期地溯源、量值传递、线性度校准和整体比对，对其整体测试能力进行验证。本发明成功解决了半导体器件引线键合强度测试中数据准确性、一致性和可靠性的问题，为半

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113899692 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202111129766.6 (22)申请日 2021.09.26 (71)申请人湖北航天技术研究院计量测试技术