一种多功能硅片智能化检测平台及检测方法.pdfVIP

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2023-04-21 发布于北京
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一种多功能硅片智能化检测平台及检测方法.pdf

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本发明公开了一种多功能硅片智能化检测平台，属于硅片检测领域。一种多功能硅片智能化检测平台，包括工作台和图像识别器，还包括：支撑架，固定连接在工作台上；其中，所述支撑架上固定连接有支撑板，所述图像识别器有三组且均固定连接在支撑板上；固定板，固定连接在工作台上；其中，所述固定板有两组，两组所述固定板之间转动连接有送料机构，所述固定板上转动连接有第一转杆和第二转杆；本发明使用简单，操作方便，通过第一凸轮和第二凸轮旋向相反的转动对硅片进行顶起，使硅片进行不同角度的倾斜，方便图像识别器对硅片上的裂痕进行识

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113884507 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202111150972.5 (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人徐立红地址 414