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一种缺陷检测方法及系统，其中方法包括：提供若干历史晶圆，历史晶圆包括若干历史芯片；根据若干历史芯片获取参考图像；提供待检测晶圆，待检测晶圆包括若干待检测芯片；获取各待检测芯片的待检测图像；将待检测图像和参考图像进行对比，获取图像之间的像素偏差绝对值；将像素偏差绝缘值与像素检测阈值对比，判断与待检测图像相对应的待检测芯片是否存在缺陷。根据若干历史芯片获取参考图像，参考图像可视作为没有缺陷的标准图像，在将待检测图像与参考图像进行对比时，若存在缺陷，则可以直接判断与待检测图像相对应的待检测芯片存在缺陷
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113916903 A
(43)申请公布日 2022.01.11
(21)申请号 202111152713.6
(22)申请日 2021.09.29
(71)申请人 芯盟科技有限公司
地址
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