一种磁性薄膜的磁光参数表征方法及系统.pdfVIP

一种磁性薄膜的磁光参数表征方法及系统.pdf

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本发明公开了一种磁性薄膜的磁光参数表征方法及系统,属于磁光偏振测量领域,包括:测量由基底、磁性薄膜及空气所构成的三介质系统的椭偏参数ψ、Δ和全穆勒矩阵M;利用M分别计算入射P光到反射P光和反射S光的反射系数rPP和rSP,以及入射S光到反射P光和反射S光的反射系数rPS和rSS,并利用ψ、Δ进行椭偏分析,以获得厚度d和复折射率N2;利用所计算的反射系数及椭偏分析结果计算复磁光耦合系数Q,并计算P光和S光的磁光克尔偏转角和以及P光和S光的椭率角和计算公式中直接保留2πdN2cosθ2/λ项。本发明

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113916797 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 202111162313.3 CN 108801932 A,2018.11.13 (2

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