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本发明提供一种背照式图像传感器，包括：像素区衬底、隔离结构、第一介质层、金属网格和第二介质层，所述像素区衬底中形成有网格沟槽和金属插塞，所述隔离结构位于所述网格沟槽中以及所述网格沟槽之间的像素区衬底的表面；其中，所述隔离结构包括：高K介质层、绝缘层和金属内芯层。本申请还提供一种背照式图像传感器的制造方法。本申请在所述隔离结构中增加所述金属内芯层，通过对所述金属内芯层施加负偏压来实现所述网格沟槽之间的各所述像素区衬底区域中的光生电子和/或噪声电子的有效隔离，提升器件的抗串扰能力，改善图像画质。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113948538 A
(43)申请公布日 2022.01.18
(21)申请号 202111103867.6
(22)申请日 2021.09.18
(71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
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