一种微米线宽深硅沟槽的光学测量系统与方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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一种微米线宽深硅沟槽的光学测量系统与方法.pdf

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本发明一种微米线宽深硅沟槽的光学测量系统与方法，包括光源模块(100)、分光模块(200)、科勒照明模块(300)、临界光束模块(400)、样品台(500)、显微图像采集模块(600)和复色光谱采集模块(700)；所述光源模块(100)输出复色宽谱准直光束，所述分光模块(200)将准直光束分别导入科勒照明模块(300)和临界光束模块(400)，共同照明样品台(500)上的待测样品；所述样品台(500)控制待测样品的显微对焦与测量区域；采集显微图像和反射光谱并传送给计算机，利用计算机软件解算沟槽深

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113932709 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111170009.3 (22)申请日 2021.10.08 (71)申请人天津大学地址 30