一种可重构加速度传感器.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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一种可重构加速度传感器.pdf

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一种可重构的加速度传感器，包括：衬底；折纸结构梁，设置在衬底上，所述折纸结构梁包括第一折叠薄膜结构、第二折叠薄膜结构、第三折叠薄膜结构、第四折叠薄膜结构，所述折纸结构梁通过第一V形梁、第二V形梁固定连接于所述衬底；悬浮电极设置于所述衬底与所述折纸结构梁之间，所述悬浮电极的两端分别与第一弹簧结构和第二弹簧结构连接；第一弹簧结构和第二弹簧结构分别通过第三V形梁、第四V形梁固定连接于所述衬底；其中，所述折纸结构梁的延伸方向与所述第一弹簧结构、第二弹簧结构的延伸方向相互交叉。本发明通过控制V形梁使加速度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113917187 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111173680.3 (22)申请日 2021.10.08 (71)申请人南京林业大学地址