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本发明公开了一种自适应抛光头，包括：固定座和设置在固定座下方的固定板，固定板下方设置有底板总成，固定板与底板总成之间夹设有密封膜，底板总成的底面设置有用于吸附晶圆的吸附垫。固定板与密封膜之间设置有第一加压区，第一加压区和底板总成之设置有用于连接底板总成的限位块，密封膜设置在限位块的下方；固定座的顶面向下贯穿至第一加压区设置有第一加压通道，固定板的顶面向下贯穿至第一加压区设置有调整座；调整座下方安装有调整柱，调整柱用于限位防止限位块和底板总成向下脱落；当限位块受力向上移动时，限位块将脱开调整柱的限
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113910100 A
(43)申请公布日 2022.01.11
(21)申请号 202111363038.1 B24B 55/00 (2006.01)
(22)申请日 2
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