一种具有致密浮点表面结构的下部电极及其制作方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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一种具有致密浮点表面结构的下部电极及其制作方法.pdf

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本发明公开了一种具有致密浮点表面结构的下部电极及其制作方法，包括下部电极，下部电极的电极表面四周设置周边凸起，在周边凸起范围内还设置有呈阵列分布的浮点，浮点之间的间距为0.25‑2mm。通过在下部电极表面设置致密的浮点结构，可以改善冷却气体流通的均匀性，从而改善其对玻璃基板的冷却效果的均匀，减少在玻璃基板上形成印痕的情况。同时通过使用这种制作方法，能在下部电极上设置间距更小的浮点阵列，保证冷却气体的流通性，继而提高对玻璃基板的冷却效果。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113917720 B (45)授权公告日 2022.07.05 (21)申请号 202111220383.X H01L 51/56 (2006.01)