一种芯片夹具及其夹持方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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一种芯片夹具及其夹持方法.pdf

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本发明涉及芯片制造技术领域，具体涉及一种芯片夹具及其夹持方法，芯片夹具包括外筒、运输组件、机械臂和夹持组件，运输组件包括固定架、驱动电机、主动轮、多个随动轮、履带和放置座，机械臂包括升降柱、横臂、滑轨、平移驱动器、伸缩杆和芯片夹，本发明提供的一种芯片夹具及其夹持方法，在现有的夹具基础上添加了运输组件和机械臂，运输组件将芯片运输到机械臂下方，再通过机械臂夹取芯片并放置到夹持组件上，然后在夹持组件中进行解封，解决了现有芯片夹具自动化程度较低而导致效率较低的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113910284 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111238574.9 (22)申请日 2021.10.25 (71)申请人桂林芯飞光电子科技有限公司