基于铁磁薄膜与法布里珀罗腔的磁场传感系统.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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基于铁磁薄膜与法布里珀罗腔的磁场传感系统.pdf

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本发明提出了一种基于铁磁薄膜与法布里珀罗腔的磁场传感系统，其中铁磁薄膜为钇铁石榴石薄膜，放置在完全固定的法布里珀罗腔的内部，腔内的光场可以双向透过薄膜，当外界磁场信号存在时，薄膜对磁场产生的响应由腔的透射特性反映出来，获得利用光学谐振腔透射特性解调的磁场传感系统。通过选取腔和薄膜的结构参数，在铁磁薄膜与法布里珀罗腔构成的传感单元内同时获得高品质因数的光学模式和高频率的力学模式，利用直流磁场调谐铁磁共振频率与腔的力学模式频率接近，获得谐振增强，提升交流磁场传感灵敏度。实现了力学模式和光学模式的解耦

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113933764 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111163301.2 (22)申请日 2021.09.30 (71)申请人杭州电子科技大学地址