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本发明涉及一种变节距机构。该机构包括机架,机架包括间隔设置的第一支撑臂和第二支撑臂,第一支撑臂上设置有第一变节距组件,第二支撑臂上设置有第二变节距组件,还包括驱动组件,驱动组件分别与第一变节距组件和第二变节距组件相连,驱动组件通过驱动第一变节距组件和第二变节距组件进而使得各个硅片相互靠拢或相互分散。本申请的机构通过第一支撑臂上的硅片定位件和第二支撑臂的硅片定位件可对花篮内硅片拾取,通过驱动组件可驱动第一变节距组件和第二变节距组件运动,实现硅片相互靠拢或相互分散,这样就可实现对硅片的节距进行调整。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113911695 A
(43)申请公布日 2022.01.11
(21)申请号 202111120694.9
(22)申请日 2021.09.24
(71)申请人 苏州诚拓智能装备有限公司
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