位置测定部件.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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本发明提供一种位置测定部件，其具有被设置在一个平面或相互平行的多个平面上的、至少一个光学元件和该至少一个光学元件的位置对准用的至少2个位置基准部，其中，各位置基准部为柱状，并且具有倾斜面，该倾斜面被形成为，对设置有各位置基准部的第1平面和与该第1平面平行的第2平面进行连接，该倾斜面相对于设置有各位置基准部的平面的角度θ为20度至70度的范围，该第1平面与该倾斜面形成柱的周围的槽。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113933030 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111208827.8 G01B 11/26 (2006.01) (22)申请日 2