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本发明提供一种可提高基片的温度调节的响应性的检查装置。本发明的检查装置包括:能够载置基片的载置台;冷却部,其对载置在所述载置台上的所述基片进行冷却;探针卡,其具有与所述基片接触来进行供电的探针;光照射机构,其对所述基片的与载置面相反的面照射光;和控制所述光照射机构的控制部。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113937021 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202110751970.5
(22)申请日 2021.07.02
(30)优先权数据
2020-1208
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