一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统.pdf

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本发明公开了一种具有非接触式SiC舟改善体高效能的退火炉系统，属于退火炉技术领域，包括数据采集模块、数据处理模块、调控模块和监控平台；数据采集模块用于采集退火炉工作时的输送信息、运行信息和预热信息；输送信息包含输送冷风的流量数据和流速数据；运行信息包含监测区域的温度数据和气流数据；预热信息包含预热器的预热数据；数据处理模块用于对采集的输送信息、运行信息和预热信息分别进行预处理和计算，得到输送处理集、运行处理集和预热处理集；对输送处理集、运行处理集和预热处理集进行综合分析，得到运行匹配集；本发明用

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113921427 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111174466.X (22)申请日 2021.10.09 (71)申请人杭州中欣晶圆半导体股份有限公司