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本发明涉及湿度探测装置技术领域,具体涉及一种水平布置型高灵敏湿度探测装置。第一导电部、光敏半导体部、第二导电部置于衬底层上,第一导电部和第二导电部置于光敏半导体部的两侧,并与光敏半导体部固定连接,光敏半导体部中设有孔洞,第一电极和第二电极分别设置在第一导电部和第二导电部上。在本发明中,孔洞不仅增强了光敏半导体部对入射光的吸收,而且让水汽更多地、更深入地改变光敏半导体部的导电特性。因此,本发明具有湿度探测灵敏度高的优点,在湿度探测领域具有良好的应用前景。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113933356 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111009827.5
(22)申请日 2021.08.31
(71)申请人 刘翡琼
地址 710
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