一种托盘基座、气流驱动装置及外延设备的反应室机构.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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一种托盘基座、气流驱动装置及外延设备的反应室机构.pdf

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本申请涉及外延生长技术领域，具体公开了一种托盘基座、气流驱动装置及外延设备的反应室机构，其中，托盘基座底部设有多个圆周阵列的气流槽，多个气流槽通过一进气槽连通，气流槽包括：内槽，与进气槽连通；外槽，与内槽和托盘基座边缘连通；内槽深度小于外槽深度以使得进气槽导入的气流进入内槽中增大动压而托起托盘基座后，再进入外槽中朝外释放而驱动托盘基座旋转；该托盘基座将气流槽设置为内槽和外槽两部分，使得导入的气流从进气槽导入至内槽时产生较大的动压而将托盘基座浮起，其后气流再进入外槽中朝外释放以驱动托盘基座旋转，从

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113913789 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111187817.0 (22)申请日 2021.10.12 (71)申请人季华实验室地址 5