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本发明涉及半导体测温技术领域，公开了一种反射率热成像仪测试模块及测试方法，包括第一测试样品区域，所述第一测试样品区域包括以不同间隔距离排布的多条金属线，每条所述金属线的两端都设有焊盘，且每条所述金属线的尺寸均相同；第一功率模块，与任意两条相邻的所述金属线的焊盘相连接，用于向任意两条相邻的所述金属线提供第一测试电信号。利用本公开提供的反射率热成像仪测试模块可以实现对反射率热成像仪的关键指标进行测试验证，从而可以对反射率热成像仪的测试性能进行进一步研究与提高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113948497 A
(43)申请公布日 2022.01.18
(21)申请号 202111027584.8 H01L 21/66 (2006.01)
(22)申请日 2
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