一种多自由度宏微混合的精密运动台.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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一种多自由度宏微混合的精密运动台.pdf

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本发明涉及运动平台技术领域，公开了一种多自由度宏微混合的精密运动台，包括基座、宏动模块、微动模块和微动台；基座包括支承平台，宏动模块包括X向驱动模块、Y向驱动模块和Z向驱动模块；微动模块包括底部框架、上部框架和垂向运动装置，底部框架与Z向驱动模块连接，垂向运动装置连接在底部框架与上部框架之间，垂向运动装置包括微动电机和传动件，传动件与上部框架传动连接；微动台固定布置在上部框架上。宏动模块的Z向驱动模块控制微动台在垂直方向上运动，并对微动台在Z向上进行粗略调节，微动模块的微动电机通过传动件带动微动

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113917796 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111110623.0 (22)申请日 2021.09.22 (71)申请人哈尔滨工业大学地址