静电卡盘表面处理方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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静电卡盘表面处理方法.pdf

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本发明揭示了静电卡盘表面处理方法，静电卡盘由氧化铝基材和其内部的金属电极组成；包括以下步骤：1)静电卡盘成型，氧化铝粉末采用冷等静压处理，得到成型体；2)成型体采用热等静压进行烧结，制成静电卡盘为圆盘状结构；3)喷砂处理，喷砂机由基材中心旋绕周向打圈向外喷砂，粗喷；4)细喷；5)精喷；6)检测，对基材表面进行粗造度检测，选取基材表面任意一2.5mm的直径范围，检测该范围内的最高凸缘和最低凸缘的高低差，当高低差大于5μm时，增加精喷材料的目数50‑100目，喷砂直至符合目标范围。本发明实现了达到目

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113937048 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202010602239.1 G01B 21/30 (2006.01)