一种基于MEMS的电化学气体传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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一种基于MEMS的电化学气体传感器及其制备方法.pdf

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本发明属于气体传感器技术领域，具体涉及一种基于MEMS的电化学气体传感器及其制备方法。本发明采用硅片作为基底材料，根据待测气体种类在硅片上溅射相应的金属作为对电极和参比电极。在玻璃片上溅射一层金属用作工作电极，然后利用干法刻蚀的方法在玻璃上刻蚀出进电解液口、出电解液口和进气口阵列，进气口采用阵列的方法不但能够提高气体传感器的灵敏度还能够使传感器具有更低的检测下限。而且本发明所使用的工艺成熟、制得的器件体积小、集成度高、可兼容传统IC生产工艺、适用于大批量生产，可根据待测气体种类来选择电极的敏感材

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113916950 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111173848.0 (22)申请日 2021.10.09 (71)申请人大连理工大学地址