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本发明属于极紫外光刻机技术领域，具体涉及一种极紫外光刻机材料检测装置、氢致放气测试方法及氢损伤性能测试方法。本发明中的极紫外光刻机材料检测装置包括真空容器、排空组件、供氢组件、放电组件和检测组件，排空组件与真空容器相连通，供氢组件与真空容器相连通，放电组件包括射频发生器、第一电极和第二电极，第一电极和第二电极均位于真空容器内相对设置，检测组件与真空容器内部相连通，检测组件用于检测真空容器的真空压力、真空容器内产生的等离子体参数、真空容器内气体的组成成分和各气体的分压力。通过使用本技术方案中的极紫
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113933454 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111023016.0
(22)申请日 2021.09.01
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
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