大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法.pdf

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大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制方法；用于保证大批量复制工艺的一致性，提高生产效率。包括以下步骤：S1.调试脱模装置；安装带有镜壳的芯轴模具，并调试脱模装置；S2.注入高纯氮气；向脱模装置的密封罩内注入氮气；S3.注入液氮；向芯轴模具内部注入液氮；S4.监测传感器示数；此过程中注意监测力传感器、热电偶仪表、环境温度、湿度的显示值，并做好记录；S5.开始脱模；通过脱模装置将镜片从芯轴模具上脱离下来；S6.吊取镜片；通过升调装置吊取镜片；S7.卸芯轴。本发明只需要

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113913877 B (45)授权公告日 2022.08.09 (21)申请号 202111193036.2 (51)Int.Cl.