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本发明公开了一种晶圆清洗后用擦拭装置，包括用于支撑的机架装置，还包括用于往复移动的平移装置，所述平移装置上面安装有用于固定晶圆旋转的卡持装置，所述机架装置上面安装有用于喷射空气擦拭晶圆表面的喷气装置，所述机架装置下面设置有用于抽吸空气和水滴的循环装置；所述机架装置包括支撑台，所述支撑台底部四角均匀分布有四个支撑腿，所述支撑台上四角均匀分布有四个支撑板，所述支撑台中间设置有避让槽。本发明通过吹吸双向作用的设置，加大了对水液的控制，保证了晶圆擦拭的洁净性；通过气流擦拭的设置，避免了物理接触擦拭，减少
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113926796 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202111039443.8
(22)申请日 2021.09.06
(71)申请人 江苏亚电科技有限公司
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