一种光刻机电路板水冷屏蔽装置.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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一种光刻机电路板水冷屏蔽装置.pdf

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本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相连通，其中一个所述水冷屏蔽板上设有进水口，另一个所述水冷屏蔽板上设有出水口。本发明通过在盒体的两块水冷屏蔽板上各设置一个电路板，实现了两块电路板的同时冷却，从而减小了冷却装置的体积，提高了光刻机的空间利用率。同时，由于每个水冷屏蔽板的内部均设有冷却水路，既保证了每个电路板的冷却需

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113939171 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111108254.1 (22)申请日 2021.09.22 (71)申请人哈尔滨工业大学地址