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本发明提供了一种约瑟夫森结、约瑟夫森结阵列、其制备方法和用途,所述约瑟夫森结的制备方法包括:选用A面蓝宝石作为衬底,基于小的晶格错配度,可制备出表面平整的准外延Ta(110)超导薄膜,作为约瑟夫森结下电极;进一步地,借助氧化或者沉积方法形成致密、稳定且可控的Ta2O5氧化层作为约瑟夫森结中间层;其上再沉积一层Ta超导层作为约瑟夫森结上电极;后兼容光刻和空气桥方案进行超导电路制备及结电极的导通,完成约瑟夫森结阵列制备。所涉及方案中采用化学钝化方式对超导电路及约瑟夫森结进行保护。本发明避免了复杂的悬
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113921691 B
(45)授权公告日 2022.03.18
(21)申请号 202111480542.X H01L 39/22 (2006.01)
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