一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆制造的圆片定位清洗设备，包括清洗箱体，所述清洗箱体的一侧表面固定连接有驱动架，所述驱动架的一端表面转动安装有机械臂，所述机械臂的一端表面设有连接豁口，所述连接豁口的侧面设有倾斜限位面，所述连接豁口的侧面转动安装有转动轴，所述转动轴的表面转动安装有摆动杆，所述摆动杆的一端表面固定安装有电机，所述电机的一端表面转动连接有连接轴，所述连接轴的表面转动安装有安装架，所述安装架的表面固定安装有吸附盘，所述吸附盘的表面负压吸附有晶圆，所述安装架和晶圆均位于清洗箱体的一侧位置，这样能够

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113909243 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111155510.2 (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人陈威地址 8107