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本发明提出一种具备个别分区的电镀装置,包括:连续电镀生产线,其具备第1阳极;分步电镀生产线,其配置于所述连续电镀生产线的后方,并具备第2阳极;控制部,其调整应用到所述第1阳极和第2阳极的电流值,使形成于所述基板的最终电镀厚度保持均匀,所述连续电镀生产线在所述基板被移动的状态下实施电镀,所述分步电镀生产线在所述基板被停止的状态下实施电镀,所述分步电镀生产线在每一个配置有个别基板的个别区域设有个别分区,从而在所述分步电镀生产线的个别区域对于基板实施电镀时,通过所述个别分区,使相邻基板相互之间对于电镀
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113943968 A
(43)申请公布日 2022.01.18
(21)申请号 202011613416.2 C25D 21/12 (2006.01)
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