用于测试互连键合部的设备和方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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用于测试互连键合部的设备和方法.pdf

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一种用于测试电子器件的键合强度的互连键合部测试设备，该电子器件包括至少一个附接至所述电子器件的互连键合部。所述互连键合部测试设备具有定位机构以及安装至该定位机构上的测试工具组件。测试工具组件被构造为推动互连键合部的第一部分并提拉互连键合部的第二部分，定位机构操作以在测试中将所述测试工具组件与所述互连键合部对齐，并且向互连键合部的第一部分施加推力以及向互连键合部的第二部分施加拉力。所述互连键合部测试设备具有夹具，该夹具包括其上安装的至少一个力感测元件。该至少一个力感测元件被构造为在与测试工具组件接

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113933180 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202010656412.6 (22)申请日 2020.07.09 (71)申请人先进科技新加坡有限公司