一种高灵敏度的三维力和力矩解耦触觉传感器结构.pdfVIP

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2023-04-22 发布于北京
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一种高灵敏度的三维力和力矩解耦触觉传感器结构.pdf

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本发明涉及一种高灵敏度的三维力和力矩解耦触觉传感器结构。本发明包括中心质量块和围绕在中心质量块周围的电容检测单元；所述的中心质量块作为受力单元，将施加在触觉传感器上的力和力矩传递给相应的电容检测单元进行检测，所述中心质量块与玻璃衬底上的固定金属电极形成一个平行板电容用于检测Z轴法向力；本发明选择栅型电容作为触觉传感器的力检测单元，通过差分检测方式实现力的检测，具有更高的灵敏度和更好的线性度；选择栅型电容作为触觉传感器的力矩检测单元，通过倾斜极板电容原理实现力矩检测；通过设计不同的电极结构和尺寸，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113916433 A (43)申请公布日 2022.01.11 (21)申请号 202111023625.6 (22)申请日 2021.09.01 (71)申请人杭州电子科技大学地址