一种用于液相外延的石墨舟及其使用方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.51千字
约 9页
2023-04-22 发布于北京
举报
版权申诉

一种用于液相外延的石墨舟及其使用方法.pdf

1、本文档共9页，其中可免费阅读8页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提出了一种用于液相外延的石墨舟及其使用方法。用于液相外延的石墨舟包括：依次层叠设置的底托、衬底槽、母液槽和上盖。其中，衬底槽中设有用于放置石墨垫块和衬底的第一通孔，石墨垫块在第一通孔内的高度可调节。衬底槽设有多个水平刻度线，用于指示所述石墨垫块的高度和水平度。本发明通过直接调整石墨垫块的高度和水平度，更高效地实现石墨垫块高度根据衬底高度和薄膜厚度进行连续精确变化，形成标准工艺，保证薄膜不被划伤和母液残留，降低了外延工艺配备多个垫块的加工成本，并且操作简单，结合水平线指示也使精度更加精确。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113930839 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202111151911.0 (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人中国电子科技集团公司第十一研究