延长分子碳注入物离子源寿命的系统和方法.pdfVIP

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2023-04-22 发布于四川
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延长分子碳注入物离子源寿命的系统和方法.pdf

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离子源组件和方法具有源气体供应器以向离子源腔室提供分子碳源气体。源气体流量控制器控制分子碳源气体至离子源腔室的流量。激发源激发分子碳源气体以形成碳离子和自由基。提取电极从离子源腔室中提取碳离子，形成离子束。氧化共伴气体供应器向腔室提供氧化共伴气体。氧化共伴气体流量控制器控制氧化共伴气体至腔室的流量。氧化共伴气体分解并与含碳残留物和原子碳反应，从而在离子源腔室内形成一氧化碳和二氧化碳。真空泵系统去除一氧化碳和二氧化碳，其中减少了原子碳在离子源腔室内的沉积并且增加了离子源的寿命。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113939891 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202080040144.3 (74)专利代理机构北京中原华和知识产权代理