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本发明涉及光刻机技术领域,公开了一种工件台移动装置,其包括支撑框架、固定平台、第一固定机构、移动平台、第二固定机构和气浮机构,工作台通过气浮机构实现相对于固定平台或移动平台移动,与支撑面没有接触摩擦,相对于滚轮板簧机构而言消除了摩擦损耗对支撑面平面度的影响,保证了工件台的定位精度,降低了工件台移入移出过程中的控制难度;其次,本工件台移动装置采用了移动平台和固定平台衔接的工件台转移方式,将工件台的悬浮运动行程大大缩短到固定平台支撑面到移动平台支撑面的距离,进一步提高了工件台移入移出的效率,操作较为
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113917792 A
(43)申请公布日 2022.01.11
(21)申请号 202111110517.2
(22)申请日 2021.09.22
(71)申请人 哈尔滨工业大学
地址
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