一种太阳能单晶PERC的低压扩散工艺.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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一种太阳能单晶PERC的低压扩散工艺.pdf

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本发明提供了一种太阳能单晶PERC的低压扩散工艺，所述低压扩散工艺包括依次进行的一步通源、一步无氧推进、二步通源、二步无氧推进、三步通源、三步有氧推进、四步通源和四步有氧推进；本发明将四步通源、两步无氧推进和两步有氧推进相结合，前期通源后先进行两步无氧推进可降低表面浓度，后期通源后再进行两步有氧推进可提升扩散长度，进而提高方阻均匀性；本发明所述低压扩散工艺能够制得表面浓度低、结深较小、均匀性高的太阳能电池片，具备较高的开路电压和短路电流，且转化效率高。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113964239 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111208686.X (22)申请日 2021.10.18 (71)申请人横店集团东磁股份有限公司