一种移动式高频光电导载流子寿命测试探头.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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一种移动式高频光电导载流子寿命测试探头.pdf

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本发明公开一种移动式高频光电导载流子寿命测试探头，包括：罩体、屏蔽盒、高频源、检波器、激光器光纤、第一弹性电极、第一微动开关、电极固定板、连接板、红外透镜；高频源、检波器设于屏蔽盒内部；高频源向测试单晶输送高频电流，检波器在高频电流中解调单晶电导率的变化过程，得到光电导衰退信号；激光器光纤一端穿过光纤固定口，另一端延伸至光纤光源出口，与红外透镜的镜面相贴；第一弹性电极穿过电极固定板、绝缘底座，第一弹性电极首端与第一微动开关配合连接，末端高出绝缘底座；当探头压在单晶测量面时，第一弹性电极上升使第一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113960385 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202011593090.1 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人广州昆德半导体测试技术有限公司