一种硅纳米线FET传感器阻值的测量装置及方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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一种硅纳米线FET传感器阻值的测量装置及方法.pdf

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本发明提供了一种硅纳米线FET传感器阻值的测量装置，包括：硅纳米线FET传感器，其上设有待测的目标物；电源装置，其正极和负极之间设有依次串联的限流电阻、硅纳米线FET传感器和负载电容，以对负载电容充放电；ASIC组件，其根据负载电容两端的电压大小将负载电容在充电和放电状态之间切换，根据电压大小输出高低电平，以产生方波信号，获取其频率，得到硅纳米线FET传感器的实时电阻值；和显示装置，设置为接收并显示硅纳米线FET传感器的实时电阻值的数据。本发明还提供了相应的方法。本发明的装置具有体积小、电路结构

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113960144 B (45)授权公告日 2022.07.19 (21)申请号 202110985591.2 CN 1256756 A,2000.06.14 (22)申请日 2021