一种热丝化学气相沉积设备.pdfVIP

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2023-04-23 发布于北京
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一种热丝化学气相沉积设备.pdf

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本发明公开了一种热丝化学气相沉积设备，其对工件镀涂层时，将工件放置在工件放置盘上，其通过第一支撑件对工件放置盘进行支撑和冷却，避免热丝产生的热量对冷却底座造成过热；而热丝装夹装置通过导热件装载于第二支撑件上，第二支撑件中的第二冷却水流道的冷却水通过导热件间接对热丝装夹装置进行冷却，减少第二冷却水流道延伸至反应腔体内的长度，且满足热丝装夹装置的散热需求；本发明提供的热丝化学气相沉积设备，其第二支撑件与导热件的组合的散热能力小于第一支撑件与冷却底座的组合的散热能力，匹配热丝化学气相沉积设备不同部件的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113957411 A (43)申请公布日 2022.01.21 (21)申请号 202111236043.6 (22)申请日 2021.10.22 (71)申请人广东鼎泰机器人科技有限公司